Pracownia Jonowej i Plazmowej Modyfikacji Materiałów
Kierownik Pracowni: dr inż. Marek Barlak
E-mail: marek.barlak@ncbj.gov.pl
Plazmowa Inżynieria Powierzchni
Tematyka Prac:
- Wieloaspektowa problematyka impulsowego dozowania energii w procesach plazmowych
- Syntezy i charakteryzacja warstw różnych materiałów otrzymywanych z wykorzystaniem technologii plazmowych inżynierii powierzchni
- Rozwój technik plazmowej inżynierii powierzchni ze specjalnym uwzględnieniem procesów o charakterze impulsowym
Modyfikacja Materiałów Wiązkami Plazmowo-Jonowymi
Tematyka Prac:
- Modyfikacja powierzchni materiałów wiązkami jonowymi, plazmowymi i elektronowymi
- Synteza struktur nierównowagowych
- Synteza nowych materiałów
Wyposażenie badawcze pracowni:
Urządzenia technologiczne
-
Rozpylanie magnetronowe (Magnetron Sputtering):
Pulse Magnetron Sputtering (PMS) i Gas Injection Magnetron Sputtering (GIMS)
- Wyładowanie łukowe w ultra wysokiej próżni - arc UHV - układ z płaską katodą
- Naparowanie próżniowe
- Implantatory jonów metalicznych typu MEVVA
- Półprzemysłowy implantator jonów gazowych
- Działo elektronowe
- Działo plazmowe IBIS typu RPI
Stanowiska charakteryzacji materiałów
- Mikroskop skaningowy z analizatorem EDS + stanowisko do preparatyki próbek
- Tribotester typu tarcza-kula
- Profilometr
- Stanowisko UHV to badania kwantowej wydajności fotokatod